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大功率超聲波聲化學處理系統由超聲波振動部件和超聲波專用驅動電源和反應釜三大部分構成：超聲波振動部件主要包括大功率超聲波換能器、變幅桿、工具頭（發射頭），用于產生超聲波振動，并將此振動能量向液體中發射。換能器將輸入的電能轉換成機械能，即超聲波。其表現形式是換能器在縱向作來回伸縮運動，振幅一般在幾個微米。這樣的振幅功率密度不夠，是不能直接使用的。變幅桿按設計需要放大振幅，隔離反應溶液和換能器，同時也起到固定整個超聲波振動系統的作用。工具頭與變幅桿相連，變幅桿將超聲波能量振動傳遞給工具頭，再由工具頭將超聲波能量發射到化學反應液體中。

聲化學系統主要部件功能：

1.超音波振動源（驅動電源）：把50-60Hz的市電轉化為高功率的高頻率（15kHz—100kHz）電源，提供給換能器。

2.換能器（controller, transducer）：把高頻率電能轉化為機械振動能。

3.變幅桿：聯接并固定換能器與工具頭，將換能器之振幅放大后傳送到工具頭。

4.工具頭（導入桿）：把機械能和壓力傳至工作物，同時也有振幅放大的功能。

5.連接螺栓：將以上各組件緊密地連接。