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特征

優(yōu)點(diǎn)

應(yīng)用

·         可用于任何惰性氣體

·         輕松設(shè)置

·         安裝簡單

·         前置流計(jì)

·         直觀的用戶控制

·         安靜的操作

·         快速清除和清理

·         VCR接頭內(nèi)部和外部

·         不銹鋼結(jié)構(gòu)

·         在正常操作過程中的零氣體廢物

·         近常壓輸出

·         低噪聲

·         小尺寸

·         便于系統(tǒng)集成

·         2年保修的

·         較低的擁有成本

·         工藝鑒定

·         半導(dǎo)體制程監(jiān)控

·         平板過程監(jiān)控

·         過程趨勢分析

主要技術(shù)參數(shù)及性能：

粒徑范圍

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

輸出壓力

接近大氣壓

輸入壓力

30-150 psi

兼容氣體

氮，氬氣，氦氣

運(yùn)行噪音

<60 db

外殼

不銹鋼

材質(zhì)

316L 不銹鋼

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

隨機(jī)配件

采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽；套圈

可選件

備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)