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潔凈氣體干燥凈化器 |
關鍵詞: |
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公司名稱:北京市北氧特種氣體研究所有限公司 |
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詳細說明 |
光學設備、實驗室儀器等需要使用潔凈干燥空氣進行各種用途的吹掃。吹掃氣體有可能把不需要的氣態污染物引入光學鏡片和硅片區域。這種污染物會吸收光,在鏡片上留下淀積物或者淀積在進行工藝加工積聚)。對于使用潔凈干燥空氣作為鏡片的吹掃氣體所碰到的問題,本公司提供了完滿的解決方案,潔凈氣體干燥純化器針對半導體應用超高純氣體而設計的,采用脫烴、硫化物、鹵中的硅片上,從而導致產品損失(很差的圖形品質)和潛在的工藝設備損壞(污染物在鏡片表面化物、殘油、灰塵顆粒等雜質,從而得到潔凈干燥氣體。 技術參數: 原 料 氣:空氣、氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氨氣、二氧化碳、一氧化碳等氣體,露點≤-40℃。 凈化后質量指標:經脫水干燥、露點≤-70℃~-90℃,或根據用戶具體情況而定,經后級凈化,可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳氫等等雜質,使空氣達到潔凈要求。 操 作 壓 力:輸入≥ 0.8MPa( 壓力愈高愈好 ) ,輸出壓力略低于輸入壓力 處 理 氣 量:1—1000Nm 3 /h 適應范圍:實驗室氣體分析、載氣、標準氣/混合氣配氣、半導體材料生產、有色金屬加工、精細化工。 |
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