QIII表面微粒子計數器 表面潔凈分析儀
產品描述
表面微粒密度驗證表面微粒子密度分析儀(表面清潔驗證)及產品資料
表面微粒子密度分析計數器
美國 Pentagon QIII max(0.3um) and QIII Ultra(0.1miron)
物體表面微粒子計數器產品目錄,對于做為表面微粒子檢測來說是必須的驗證工具且能夠使貴公司的客戶認可.
供您參考.我們是美國 Pentagon *區
的總代理商.
目前報價 約
Pentagon QIII max(0.3um) USD ex-work
Pentagon QIII Ultra(0.1miron) USD ex-work
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QIII Max /Ultra更新功能：
1. 新的取樣模式增加準確度
2. 7" 800X480大觸控螢幕 (QIII+ 6"觸控螢幕)
3. 改善取樣Probe插座.易拔插與更換
4. 二個使用者可換電池插座.可熱拔插 (原廠標配2顆電池.充電器選配)
5. 可利用USB下載資料
6. QIII Ultra 可量測到0.1Micron
以下為QIII Max &QIII Ultra 詳細粒徑分布：
QIII Max QIII Ultra
0.3um 0.1um
0.5um 0.2um
1.0um 0.3um
3.0um 0.5um
5.0um 1.0um
10.0um 5.0um
適合使用單位:
u 適合客戶群: 包裝材料廠商: 如包裝材, 無塵紙,.....等
u 藥廠設備機臺裝表面清潔驗證: 理瓶區,灌裝機, 分裝機, 藥廠包裝材料廠商: 如包裝材,....
無菌醫療機械初包裝潔凈度 T/CAMDI 009.1-2020 微粒汙染試驗方法
氣體吹脫法
u
半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等
u
對曝光機; 顯影機 ,蝕刻, 黃光 及偏光板貼附機臺效果顯著
u
Capture filter 能收集particles 由EDX 或FTIR分析particle 成分。
u
適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE,
QA, QC , Microntation , Etch, Diffusion..
QIII+ , QIII ultra, QIII max, QIII LS,
QIII ST, QIII SM, QIII SX,
涂裝車間“潔凈度新標準 — ISO14644-9
產品規格︰ 表面潔凈度, 表面微粒密度驗證,表面微粒子密度分析儀(表面清潔驗證)及產品資料,
表面微粒子密度分析計數器
目臺X電; 聯X電...等 皆選用此機型
提升良率; 確認wiper擦拭方式及機臺保養是否達到清潔的效果
注意事項：
應用: IEST-CC-1246D
美國Pentagon Technologies針對從submicron至eep submicron (0.18, 0.13..) 的Production機臺, 建立了特別的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment
Effectiveness), 其應用于各種Thin Film( PVD, CVD..), Etching
and Diffusion Equipments. 以及工作臺面積臺表面潔凈度..等的驗證. 此已為目前機臺維護作業時的標準工具之一.以及搭配MetOne Particle Counter對Mini-environment中量測particle, TRH, DP, velocity..的監視系統可幫助Module
equipment, process engineer/manager了解contamination
issue.
Pentagon Technologies 亦針對Fab整體的contamination可提供詳細的偵測及評估(曾在TSMC, UMC,ADM fab 25…)進而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 這可提供QA人員非常advanced的幫助。
產品優點︰ 適合使用單位: IEST-CC-1246D, ISO14644-9,
1.適合客戶群: 半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等
2.Capture filter 能收集particles .由EDX 或FTIR分析particle 成分。
3.適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC ,
Microntation , Etch, Diffusion..
4.對曝光機; 顯影機 ,蝕刻, 黃光 及偏光板貼附機臺效果顯著
QIII+ , QIII ultra, QIII max, QIII LS,
QIII ST, QIII SM, QIII SX,
無菌醫療機械初包裝潔凈度
T/CAMDI 009.1-2020
微粒汙染試驗方法 氣體吹脫法
涂裝車間“潔凈度新標準 — ISO14644-9
主要市場︰ 半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等
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